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    HMDS鍍膜機,黃光區鍍膜設備
    HMDS鍍膜機,黃光區鍍膜設備

    HMDS鍍膜機,黃光區鍍膜設備通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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    硅片HMDS涂布機臺,4寸Wafer hmds烤箱
    硅片HMDS涂布機臺,4寸Wafer hmds烤箱

    硅片HMDS涂布機臺,4寸Wafer hmds烤箱是將 HMDS 涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水, 其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

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    HMDS鍍膜烤箱,HMDS真空鍍膜系統
    HMDS鍍膜烤箱,HMDS真空鍍膜系統

    HMDS鍍膜烤箱,HMDS真空鍍膜系統預處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達4盒的晶片;更加節省藥液;低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能;,有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設定,一鍵完成作業。

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    智能型HMDS烤箱定做,不銹鋼HMDS烘箱
    智能型HMDS烤箱定做,不銹鋼HMDS烘箱

    智能型HMDS烤箱定做,不銹鋼HMDS烘箱預處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達4盒的晶片;更加節省藥液;低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能;,有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設定,一鍵完成作業。

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    HMDS烘箱,hmds預處理烘箱
    HMDS烘箱,hmds預處理烘箱

    將HMDS涂到樣品表面后,經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變為疏水性,此疏水性能HMDS烘箱,hmds預處理烘箱夠很好的與光刻膠結合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

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    HMDS真空烘箱處理系統
    HMDS真空烘箱處理系統

    HMDS真空烘箱處理系統:性能更好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

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    HMDS真空烘箱
    HMDS真空烘箱

    HMDS真空烘箱預處理性能更好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

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