無氧烘箱,智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后,接收由IT比對下載制程數據或直接接收IT所下載制程數據方式,系統并自動將制程寫入溫控器,達到遠程制程下載,避免人員制程選擇操作錯誤問題;
無氧烘箱,無氧化烘箱在半導體集成電路制造過程中,晶圓表面預處理、涂膠、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、對準、顯影、顯影后烘焙等因素都會對光刻工藝效果帶來顯著影響
充氮厭氧烘箱,450度厭氧固化爐應用于精密電子元件、聚酰亞胺層(PI)固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,模擬線性升降溫環境,特別適合半導體制造、MEMS制作、工藝COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求。
無氧烘箱,20ppm無氧高溫烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,形成高溫、低氧(無氧)、潔凈環境,特別適合半導體制造、COB封裝、IC封裝、醫療衛生、石英玻璃、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求.
高溫厭氧烘箱,厭氧固化烤箱將封閉腔內持續加熱到預設溫度后,進入保溫加熱控制狀態,電子元件在均勻的溫度下進行固化,提高電子元件的質量;也可滿足大容量烤箱的生產要求,提高了生產效率。