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    工業烘箱,工業無塵烘箱

    工業烘箱,工業無塵烘箱

    簡要描述:

    工業烘箱,工業無塵烘箱用于半導體制造中預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

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    工業無塵烘箱用途:

          用于半導體制造中預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

    工業烘箱,工業無塵烘箱特點:
    1.烘箱內部等級達到Class 100、Class 1000
    2.全周氬焊,防機臺本身所產生微塵;
    3.采水平或垂直送風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100
    4.強制送風循環方式雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到z佳溫度控制精度

    工業烘箱,工業無塵烘箱技術參數:

    1.主要技術指標:
     內箱材質:優質304不銹鋼;

    外箱材質:冷軋板噴塑或不銹鋼;

    無塵等級:Class 100、1000     

    溫度范圍:RT+10250℃、300
    溫度均勻度:±2℃;    

    溫度波動度:±0.5℃(空載)        
    溫控精度:±0.1℃;

    進風口:φ6mmN2進氣、流量控制;  

     

    氮氣烘箱

    氮氣烘箱技術參數:      

    1. 內部尺寸:800*800*1000(mm)

    2. 內箱分層:三層

    3.  溫度范圍:RT+10℃~250℃。

    4. 溫度波動:<±1℃。

    5. 溫度均勻:±1%(空載測試)。

    6.溫控裝置:高精度P.I.D智能溫控儀表、P.I.D自動演算、時間定時。

    7.內室材料:采用無磁性鏡面不銹鋼;外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 。

    8.保溫材料陶瓷纖維

    9.特質復合式SUS304#不銹鋼電熱產生器。

    保護裝置:超溫保護器,無熔絲開關。

    11. 進氣/排氣:
    進氣系統:數量1個,φ8mm

    充氣壓力:0.01~0.02Mpa
    流 量 計:氮氣轉子流量計
    減 壓 閥:進氣端配有氮氣減壓閥,充氣壓力指針顯示

    排氣系統:數量1個,φ50mm

     

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