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    晶圓百級潔凈烤箱,可編程潔凈烘箱

    晶圓百級潔凈烤箱,可編程潔凈烘箱

    簡要描述:

    晶圓百級潔凈烤箱,可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100的潔凈烘箱

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    晶圓百級潔凈烤箱,可編程潔凈烘箱概述

    晶圓百級潔凈烤箱,可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100的潔凈烘箱

    特點

    Ø  在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;

    Ø  全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;

    Ø  采用單面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;

    Ø  強制送風循環方式,雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到預定溫度控制精度。

    配件

    Ø  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

    a)   一目了然、直觀的顯示 

    b)   搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩定)」 

    c)   程序程式輸出功能(多3點) 

    d)   大容量 多1024段程序 

    e)   雙模式信號輸出 

    f)   對應各種狀況(程式終止狀態、等待判斷等) 

    g)   綜合管理大量的設定值,存儲組功能 

    h)   程序聯合運行功能(控制器間的通信) 

    i)   前面板接口通信+程序設定工具 

    Ø  耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

    a)   特點:效率高、阻力低、容塵量大;

    b)   外框材質:不銹鋼;

    c)   材料:超細玻璃纖維濾紙;

    d)   隔板:鋁箔;

    e)   過濾效率:≥99.99%;

    f)   顯示直觀,操作簡單

     

     

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