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    智能型HMDS蒸鍍機臺

    智能型HMDS蒸鍍機臺

    簡要描述:

    智能型HMDS蒸鍍機臺是一種 具有預處理性能更好,處理更加均勻,效率高,更加節省藥液特性的智能型烘箱。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。

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    智能型HMDS蒸鍍機臺概述

    智能型HMDS蒸鍍機臺通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。

    特點

    Ø  預處理性能更好:由于是在經過數次的氮氣置換后進行的HMDS處理,所以不會在有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

    Ø  處理更加均勻:由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。

    Ø  效率高:液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達8盒(4寸)的晶片。

    Ø  更加節省藥液:實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多。

    ?系統結構

    Ø  加熱系統:由于工藝的整個過程都需要在200℃左右的環境下進行,所以自始至終加熱系統都在工作。本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來實現加熱,每個熱板都采用人工智能PID調節儀實現閉環控制,調節儀控制固態繼電器的輸出從而實現溫度的精確穩定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

    Ø  真空系統:由真空泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余HMDS蒸汽。

    Ø  充氮系統:作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。

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