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    HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱

    HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱

    簡要描述:

    HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱?通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。

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    HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱概述

    HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。

    特點

    Ø  更加節省藥液實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多。

    Ø  更加環保和安全HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。 

    Ø  自動吸取HMDS功能智能型的程式設定,一鍵完成作業。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

    技術參數

    Ø  材質: 外箱采用304不銹鋼或優質冷軋板噴塑,內箱采用316L醫用級不銹鋼

    Ø  電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.5KW   

    Ø  控制儀表:人機界面

    Ø  擱板層數:2層

    Ø  HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量

    Ø  真空泵:旋片式油泵或進口無油泵

    Ø  保護裝置: 超溫保護,漏電保護,過熱保護等

    Ø  加熱系統:由于工藝的整個過程都需要在200℃左右的環境下進行,所以自始至終加熱系統都在工作。本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來實現加熱,每個熱板都采用人工智能PID調節儀實現閉環控制,調節儀控制固態繼電器的輸出從而實現溫度的精確穩定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

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    上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱等,歡迎來電咨詢HMDS蒸鍍系統,無塵HMDS烤箱詳細資料等信息
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