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    硅片潔凈烘箱,半導體百級潔凈烤箱

    硅片潔凈烘箱,半導體百級潔凈烤箱

    簡要描述:

    硅片潔凈烘箱,半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗

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    硅片潔凈烘箱,半導體百級潔凈烤箱概述

    硅片潔凈烘箱,半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    參數

    主要技術指標

    Ø  無塵等級:Class 100;     

    Ø  溫度均勻度:±2℃;    

    Ø  溫度波動度:±0.5℃(空載);        

    Ø  溫控精度:±0.1℃;

    Ø  進風口:φ6mmN2進氣、流量計控制;

    排風口: φ3”排風管(外接φ5"法蘭);

    箱體結構

    a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風道系統組裝而成

    結構合理,外觀美觀大方;

    b)   箱體材料:外箱采用優質冷軋板噴塑,可防止微塵;

    c)   內膽材料:采用優質SUS304鏡面不銹鋼板,并經堿 性蘇打水清潔

    去油污避免烘烤PARTICLE;

    完善的安全保護措施

    漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置(上限220℃)、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。

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