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    百級無塵烤箱

    百級無塵烤箱

    簡要描述:

    百級無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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    百級無塵烤箱

    無塵烤箱也稱無塵工業烤箱、潔凈工業烤箱,是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈無塵烘干設備。箱內空氣封閉自循環,經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    百級無塵烤箱

    1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
    2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
    3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
    4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。

    無塵等級:Class 100;     

    溫度范圍:RT+10~200℃;
    溫度均勻度:±2℃;    

    溫度波動度:±0.5℃(空載)        
    溫控精度:±0.1℃;        

    工作室尺寸:W500×D600×H500(mm)         

    電源:380v , 50Hz,5KW    

    網板:2塊(高度可調節)

    潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。
    M計裝可編程控制1模式20步驟,zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
    簡單操作的標準計裝
    標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

    每日維護保養

    1. 打掃表面及內腔灰塵,保持機器干凈、衛生。

    2. 檢查電流表電流跟正常時是否一樣,如有異樣,通知維修工檢修。

    3. 突然停電,要把加熱開關關閉,防止來電時自動啟動。

    4. 檢查風機運轉是否正常,有無異常聲音,如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

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