• <xmp id="asuii">
  • <xmp id="asuii"><nav id="asuii"></nav>
  • <nav id="asuii"></nav><menu id="asuii"><menu id="asuii"></menu></menu>
  • 新聞中心您的位置:網站首頁 >新聞中心 > 你知道HMDS烤箱的主要設備特點都有哪些嗎

    你知道HMDS烤箱的主要設備特點都有哪些嗎

    發布時間:2021-09-09   點擊次數:83次

        HMDS烤箱將HMDS涂到LED、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

        HMDS烤箱的設備特點:

        1、機外殼采用冷軋板烤漆處理,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

        2、箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。

        3、微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。

        4、智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。

        5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

        6、整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100級光刻間凈化環境。

        將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

    分享到:

    返回列表返回頂部
    COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

    上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
    地址:上海奉賢柘林工業區3213號

    環保在線

    推薦收藏該企業網站
    竞彩足球app下载