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    想知道HMDS鍍膜機的使用注意事項看此文就行

    發布時間:2021-08-10   點擊次數:153次

        HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

        HMDS鍍膜機的使用注意事項:

        1、定期清潔真空室并盡量抹干,每次都徹底洗干凈,以免造成越來越難洗的現象。烘干后再鍍膜,頭一爐應比原來延長四倍時間才鍍膜。

        2、定期更換擴散泵油,更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1X102Pa,擴散泵里面的油溫是否徹底冷卻到常溫狀態后,方可進行加熱或充大氣進行拆卸,否則會產生傷害人的嚴重后果。

        3、平時整個系統要保持真空狀態,工作前才充入氣體,不要使真空室長期暴露在大氣中。

        4、經常檢查膠封是否良好,特別是動密封圈,定期給動密封處加上真空脂。

        5、定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的元器件。

        6、在真空狀態下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是:先將整個真空系統抽至真空狀態,注意不要加熱擴散泵,用手動打開精抽閥,然后按放氣閥按鈕讓系統充入大氣,當真空室充滿大氣后就可進行拆卸擴散泵和閥門。

        7、停旋片泵、滑閥泵時,要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣,否則會引起回油,污染真空管道。因此,電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時,必須及時進行修理或更換。

        8、對于偏北地區,在寒冷季節,夜間和較長時間停機時,必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體,以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。

        9、精抽系統要待真空壓強達到3Pa后才能工作,若在過高的壓強下進行抽氣,會使擴散泵油氧化,降低抽氣能力,縮短泵油的使用壽命。

        10、為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環境,滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件,嚴重影響膜層的質量。

        11、在工作過程中不得斷水,采用的冷卻水必須清潔,不得使用硬水或濁水作為冷卻水,否則會使冷卻水管沉積一層水垢,影響冷卻效果。

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